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プログラマブル精密ホモジナイザーHC 300 SE
製品紹介:名称:プログラマブルホモジナイザー型番:HC 300 SE応用:HC 300 SEプログラマブルホモジナイザー、専門は12インチ及びそれ以上のウエハスピンコーティング膜設計(寸法は下方互換)
製品の詳細


製品紹介:


名前:プログラマブルホモジナイザ

モデル:HC300SE

適用:HC300SEプログラマブル均質化機は、専門的には12インチ以上のウェハスピンコーティング膜設計(サイズダウン互換)。効率的で省スペースな設計を採用する、フルカラータッチパネル操作、高級PLCコントロール極めて高い化学的互換性、高精度、高再現性。

製品の概要:


ホモジナイザスピンコータ(spin coater)は高品質均一フィルムを製造するための実験室設備である。その動作原理はゴム液を回転する基板表面に滴下し、シムマシンが高速回転して遠心力を発生してゴム液を基板表面に均一に分布させ、ナノメートル級またはミクロン級の均一な薄膜を形成することである。

HC300SEホモジナイザスピンコータは、高効率で省スペースな設計を採用している。フルカラータッチスクリーン操作、高級PLCコントロールHDPEスピンコーティング内腔、極めて高い化学互換性、サーボ産業用モータ、高精度、高繰返し性、結晶子サイズ範囲に適合Ø5-Ø300mm。マイクロエレクトロニクス、半導体、新エネルギー、生物材料、ナノ材料などの分野の高精度薄膜コーティングの製造に用いることができる。

製品特徴:


設計がコンパクトで、敷地面積が最小化されている、

HDPE高分子材料は内腔をスピンコーティングし、腐食に強く、極めて高い化学互換性を持っている、

フルカラー8インチタッチスクリーン、学びやすくて使いやすくて、操作しやすい、

高級PLC自動プログラム制御、高速スピンコーティングとマルチステッププログラミングスピンコーティングができ、運転状態がリアルタイムに表示される、

モータの異位駆動構造を採用し、モータのゴム注入防止保護機能を有する、

ゴム入り防止設計、配管の疎通性設計。回転電機をゴムを入れないように保護し、意外にゴムを入れて疎通しやすい、

回転速度、加速度、時間、真空ポンプオフ/停止、自動吸着シート、自動放出はタッチパネルで操作できます。

真空安全検査はインターロックし、真空度が不足すると、設備は自動的に運転を停止し、飛片を防止し、安全を確保する。この機能は設定でオフにできます。

カバーは安全にロックされ、カバーが開くと、デバイスは自動的に運転を停止し、安全を確保するためのヒントをポップアップします。この機能は設定でオフにできます。

真空度はリアルタイムでデジタル表示され、真空圧力は調整可能である。

テープ4道路自動ディスペンサーインターフェース、最大アップグレード可能4道路の自動ディスペンサー

ユーザーパスワード保護機能を設定できます。

技術パラメータ:


適用可能な結晶子サイズ範囲:Ø 5~300mm(より大きいサイズでカスタマイズ可能)、

スピンコーティング速度:0~6000rpm(より高速オプション)、

回転速度分解能:0.1rpm

スピンコーティング加速度:0-30000rpm/s

最大スピン塗布時間:3000s;スピンコーティング時間精度:0.1s

内腔直径427mm、内腔は独特な凹面の跳ね防止設計を採用している、

シングルステップ高速スピンコーティングとマルチステッププログラミングスピンコーティングを備え、プログラム可能100グループプログラム100ステップ

デバイスサイズ:515mmX515mmX350mm(縦横の高さ)

重量:65Kg

電力要件:1550W

HCV2000オイルフリー真空ポンプ、真空度-92KPa、抽気速度200L/min

電源入力:AC200-230V

詳細については、ANALYSISアンセズ)スタッフが、より詳細な製品情報やオプションサービスを提供します。TEL

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